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在鎢的氟化物中，六氟化鎢是唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產的品種。它的主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層，可用于X-射線的發(fā)射電極。此外，六氟化鎢在電子行業(yè)中還主要用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。 六氟化鎢還有許多非電子方面的應用，例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。此外，WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等。
注意事項：
| 化學式 | WF6 | 危險貨物編號 | 23025 | |
| 理化性質 | 外觀與性狀 | 無色無臭液體。 | 溶解性 | 水解（0℃ 1atm） |
| 熔點（℃） | 2.3℃ | 液態(tài)密度 | 13.29kg/m3（1atm21℃） | |
| 沸點（℃） | 17.2℃ | 臨界溫度（℃） | 169.85℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 遇潮濕、空氣或水分解，散發(fā)也劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。該品對眼睛、皮膚和粘膜能引起非常嚴重的燒傷。 | |||
| 急救方法 | 吸入時，迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫(yī)；皮膚與液體接觸脫去污染的衣物，用流動清水清洗。在灼傷出涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水，就醫(yī)。眼睛接觸液體時，先用大量水沖洗數(shù)十分鐘，然后就醫(yī)。 | |||
| 產品規(guī)格 | 99.9999% | |||||
六氟化硫 (SF6) | ＜0.5 | |||||
氧氣(O2)+ 氬氣(Ar) | ＜0.5 | |||||
一氧化碳(CO) | ＜0.5 | |||||
二氧化碳(CO2) | ＜0.5 | |||||
四氟化碳（CF4） | ＜0.5 | |||||
三氟化氮 (NF3) | ＜0.5 | |||||
四氟化硅(SiF4) | ＜0.5 | |||||
| 氮氣（N2） | ＜1 | |||||
氫氟酸(HF) | ＜5 | |||||
時間：周一至周五（9:00-18:00）
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